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二次イオン質量分析法による絶縁物の分析(圦本・末野, 1987)

項 目 内 容
論文題名 二次イオン質量分析法による絶縁物の分析
論文題名(英語) Secondary Ion Mass Spectrometry for Insulators
資料名 日本結晶学会誌
資料名(英語) Journal of the Crystallographic Society of Japan
著者 圦本 尚義, 末野 重穂
著者(英語) YURIMOTO Hisayoshi, SUENO Shigeho
29
4
259-269
発行年 1987
発行者 日本結晶学会
発行者(英語) Crystallographic Society of Japan
論文の言語区分 日本語 (Japanese)
アブストラクトの言語区分 英語 (English)
ISSN 03694585
DOI 10.5940/jcrsj.29.259
ID 198706963