資料詳細

Lattice Defect in Selective Epitaxial Silicon and Laterally Overgrown Regions on SiO2 (KITAJIMA Hiroshi & FUJIMOTO Yuki, 1989)

項 目 内 容
論文題名(英語) Lattice Defect in Selective Epitaxial Silicon and Laterally Overgrown Regions on SiO2
資料名(英語) Journal of Crystal Growth
著者(英語) KITAJIMA Hiroshi, FUJIMOTO Yuki
98
3
264-276
発行年 1989
発行者(英語) North-Holland
論文の言語区分 英語 (English)
アブストラクトの言語区分 英語 (English)
ISSN 00220248
DOI 10.1016/0022-0248(89)90141-3
ID 198902442