資料詳細
項 目 | 内 容 |
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論文題名(英語) | Lattice Defect in Selective Epitaxial Silicon and Laterally Overgrown Regions on SiO2 |
資料名(英語) | Journal of Crystal Growth |
著者(英語) | KITAJIMA Hiroshi, FUJIMOTO Yuki |
巻 | 98 |
号 | 3 |
頁 | 264-276 |
発行年 | 1989 |
発行者(英語) | North-Holland |
論文の言語区分 | 英語 (English) |
アブストラクトの言語区分 | 英語 (English) |
ISSN | 00220248 |
DOI | 10.1016/0022-0248(89)90141-3 |
ID | 198902442 |