資料詳細

Si Substrate Preparation for GaAs/Si by Metalorganic Chemical Vapor Deposition (FUJITA K. et al., 1990)

項 目 内 容
論文題名(英語) Si Substrate Preparation for GaAs/Si by Metalorganic Chemical Vapor Deposition
資料名(英語) Journal of Crystal Growth, Crystal Growth 1989, Part 1, Proceedings of the Ninth International Conference on Crystal Growth
著者(英語) FUJITA K., SHIBA Y., YAMAMOTO T.
99
1-4
341-453
発行年 1990
発行者(英語) North-Holland
論文の言語区分 英語 (English)
アブストラクトの言語区分 英語 (English)
ISSN 00220248
DOI 10.1016/0022-0248(90)90540-2
ID 199000499