資料詳細

Si Substrate Preparation for GaAs/Si by Metalorganic Chemical Vapor Deposition (FUJITA K. et al., 1990)

項 目 内 容
論文題名(英語) Si Substrate Preparation for GaAs/Si by Metalorganic Chemical Vapor Deposition
資料名(英語) Journal of Crystal Growth, Crystal Growth 1989, Part 1, Proceedings of the Ninth International Conference on Crystal Growth
著者(英語) FUJITA K., SHIBA Y., YAMAMOTO T.
巻 99
号 1-4
頁 341-453
発行年 1990
発行者(英語) North-Holland
論文の言語区分 英語 (English)
アブストラクトの言語区分 英語 (English)
ISSN 00220248
DOI 10.1016/0022-0248(90)90540-2
ID 199000499