資料詳細
項 目 | 内 容 |
---|---|
論文題名(英語) | Si Substrate Preparation for GaAs/Si by Metalorganic Chemical Vapor Deposition |
資料名(英語) | Journal of Crystal Growth, Crystal Growth 1989, Part 1, Proceedings of the Ninth International Conference on Crystal Growth |
著者(英語) | FUJITA K., SHIBA Y., YAMAMOTO T. |
巻 | 99 |
号 | 1-4 |
頁 | 341-453 |
発行年 | 1990 |
発行者(英語) | North-Holland |
論文の言語区分 | 英語 (English) |
アブストラクトの言語区分 | 英語 (English) |
ISSN | 00220248 |
DOI | 10.1016/0022-0248(90)90540-2 |
ID | 199000499 |