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Low Temperature Epitaxial Growth of 3C-SiC on (111) Silicon Substrates (HIRABAYASHI Yasuo et al., 1990)

項 目 内 容
論文題名(英語) Low Temperature Epitaxial Growth of 3C-SiC on (111) Silicon Substrates
資料名(英語) Journal of Crystal Growth, Crystal Growth 1989, Part 1, Proceedings of the Ninth International Conference on Crystal Growth
著者(英語) HIRABAYASHI Yasuo, KOBAYASHI Ken, KARASAWA Shiro
99
1-4
284-286
発行年 1990
発行者(英語) North-Holland
論文の言語区分 英語 (English)
アブストラクトの言語区分 英語 (English)
ISSN 00220248
DOI 10.1016/0022-0248(90)90528-S
ID 199000957