資料詳細
項 目 | 内 容 |
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論文題名(英語) | Low Temperature Epitaxial Growth of 3C-SiC on (111) Silicon Substrates |
資料名(英語) | Journal of Crystal Growth, Crystal Growth 1989, Part 1, Proceedings of the Ninth International Conference on Crystal Growth |
著者(英語) | HIRABAYASHI Yasuo, KOBAYASHI Ken, KARASAWA Shiro |
巻 | 99 |
号 | 1-4 |
頁 | 284-286 |
発行年 | 1990 |
発行者(英語) | North-Holland |
論文の言語区分 | 英語 (English) |
アブストラクトの言語区分 | 英語 (English) |
ISSN | 00220248 |
DOI | 10.1016/0022-0248(90)90528-S |
ID | 199000957 |