資料詳細

The Sources of Atomic Steps in Epitaxial Lateral Overgrowth of Si (SUZUKI Y. et al., 1990)

項 目 内 容
論文題名(英語) The Sources of Atomic Steps in Epitaxial Lateral Overgrowth of Si
資料名(英語) Journal of Crystal Growth, Crystal Growth 1989, Part 1, Proceedings of the Ninth International Conference on Crystal Growth
著者(英語) SUZUKI Y., NISHINAGA T., SANADA T.
99
1-4
229-234
発行年 1990
発行者(英語) North-Holland
論文の言語区分 英語 (English)
アブストラクトの言語区分 英語 (English)
ISSN 00220248
DOI 10.1016/0022-0248(90)90518-P
ID 199005345