資料詳細

Growth of Diamond Films at Low Pressure using Magneto-Microwave Plasma CVD (WEI Jin et al., 1990)

項 目 内 容
論文題名(英語) Growth of Diamond Films at Low Pressure using Magneto-Microwave Plasma CVD
資料名(英語) Journal of Crystal Growth, Crystal Growth 1989, Part 2, Proceedings of the Ninth International Conference on Crystal Growth
著者(英語) WEI Jin, KAWARADA Hiroshi, SUZUKI Jun-ichi, HIRAKI Akio
99
1-4
1201-1205
発行年 1990
発行者(英語) North-Holland
論文の言語区分 英語 (English)
アブストラクトの言語区分 英語 (English)
ISSN 00220248
DOI 10.1016/S0022-0248(08)80108-X
ID 199006418