資料詳細

Plasma-Controlled Selective Area Growth of GaAs by Electron-Cyclotron Resonance Plasma-Excited Molecular-Beam Epitaxy (ECR-MBE) (YAMAMOTO Norio et al., 1990)

項 目 内 容
論文題名(英語) Plasma-Controlled Selective Area Growth of GaAs by Electron-Cyclotron Resonance Plasma-Excited Molecular-Beam Epitaxy (ECR-MBE)
資料名(英語) Journal of Crystal Growth, Crystal Growth 1989, Part 1, Proceedings of the Ninth International Conference on Crystal Growth
著者(英語) YAMAMOTO Norio, KONDO Naoto, NANISHI Yasushi
99
1-4
302-305
発行年 1990
発行者(英語) North-Holland
論文の言語区分 英語 (English)
アブストラクトの言語区分 英語 (English)
ISSN 00220248
DOI 10.1016/0022-0248(90)90532-P
ID 199006574