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Limitations of selective epitaxial growth conditions in gas-source MBE using Si2H6 (AKETAGAWA Ken-ichi et al., 1991)

項 目 内 容
論文題名(英語) Limitations of selective epitaxial growth conditions in gas-source MBE using Si2H6
資料名(英語) Journal of Crystal Growth, Molecular Beam Epitaxy 1990, Proceedings of the Sixth International Conference on Molecular Beam Epitaxy
著者(英語) AKETAGAWA Ken-ichi, TATSUMI Toru, SAKAI Junro
111
1-4
860-863
発行年 1991
発行者(英語) North-Holland
論文の言語区分 英語 (English)
アブストラクトの言語区分 英語 (English)
ISSN 00220248
DOI 10.1016/0022-0248(91)91097-T
ID 199100085