資料詳細
| 項 目 | 内 容 |
|---|---|
| 論文題名(英語) | B doping effect on gas source Si-MBE growth: a comparison of B2H6 gas doping and HBO2 Knudsen cell doping |
| 資料名(英語) | Journal of Crystal Growth, Molecular Beam Epitaxy 1990, Proceedings of the Sixth International Conference on Molecular Beam Epitaxy |
| 著者(英語) | HIRAYAMA Hiroyuki, HIROI Masayuki, KOYAMA Kazuhisa, TATSUMI Toru |
| 巻 | 111 |
| 号 | 1-4 |
| 頁 | 856-859 |
| 発行年 | 1991 |
| 発行者(英語) | North-Holland |
| 論文の言語区分 | 英語 (English) |
| アブストラクトの言語区分 | 英語 (English) |
| ISSN | 00220248 |
| DOI | 10.1016/0022-0248(91)91096-S |
| ID | 199101230 |