資料詳細
項 目 | 内 容 |
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論文題名(英語) | Characterization and application of fine-patterned Si/CoSi2/Si double heterostructures fabricated by self-aligned, two-step MBE |
資料名(英語) | Journal of Crystal Growth, Molecular Beam Epitaxy 1990, Proceedings of the Sixth International Conference on Molecular Beam Epitaxy |
著者(英語) | MIYAO Masanobu, NAKAGAWA Kiyokazu, NAKAMURA Nobuo, OHSHIMA Takashi |
巻 | 111 |
号 | 1-4 |
頁 | 957-960 |
発行年 | 1991 |
発行者(英語) | North-Holland |
論文の言語区分 | 英語 (English) |
アブストラクトの言語区分 | 英語 (English) |
ISSN | 00220248 |
DOI | 10.1016/0022-0248(91)91114-P |
ID | 199104054 |