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Characterization and application of fine-patterned Si/CoSi2/Si double heterostructures fabricated by self-aligned, two-step MBE (MIYAO Masanobu et al., 1991)

項 目 内 容
論文題名(英語) Characterization and application of fine-patterned Si/CoSi2/Si double heterostructures fabricated by self-aligned, two-step MBE
資料名(英語) Journal of Crystal Growth, Molecular Beam Epitaxy 1990, Proceedings of the Sixth International Conference on Molecular Beam Epitaxy
著者(英語) MIYAO Masanobu, NAKAGAWA Kiyokazu, NAKAMURA Nobuo, OHSHIMA Takashi
111
1-4
957-960
発行年 1991
発行者(英語) North-Holland
論文の言語区分 英語 (English)
アブストラクトの言語区分 英語 (English)
ISSN 00220248
DOI 10.1016/0022-0248(91)91114-P
ID 199104054