資料詳細

Observation of contact holes by atomic force microscopy with a ZnO whisker tip (KADO Hiroyuki et al., 1993)

項 目 内 容
論文題名(英語) Observation of contact holes by atomic force microscopy with a ZnO whisker tip
資料名(英語) Journal of Applied Physics
著者(英語) KADO Hiroyuki, YAMAMOTO Shin-ichi, YOKOYAMA Kazuo, TOHDA Takao, UMETANI Yukihiro
74
7
4354-4356
発行年 1993
発行者(英語) American Institute of Physics
論文の言語区分 英語 (English)
アブストラクトの言語区分 英語 (English)
ISSN 00218979
ID 199302165