資料詳細
項 目 | 内 容 |
---|---|
論文題名(英語) | Simulations and experiments of SiC heteroepitaxial growth on Si(001) surface |
資料名(英語) | Journal of Applied Physics |
著者(英語) | KITABATAKE Makoto, DEGUCHI Masahiro, HIRAO Takashi |
巻 | 74 |
号 | 7 |
頁 | 4438-4445 |
発行年 | 1993 |
発行者(英語) | American Institute of Physics |
論文の言語区分 | 英語 (English) |
アブストラクトの言語区分 | 英語 (English) |
ISSN | 00218979 |
ID | 199302940 |