資料詳細

Reactive-flow simulation of the hot-filament chemical-vapor deposition of diamond (KONDOH Eiichi et al., 1993)

項 目 内 容
論文題名(英語) Reactive-flow simulation of the hot-filament chemical-vapor deposition of diamond
資料名(英語) Journal of Applied Physics
著者(英語) KONDOH Eiichi, TANAKA Kenji, OHTA Tomohiro
74
7
4513-4520
発行年 1993
発行者(英語) American Institute of Physics
論文の言語区分 英語 (English)
アブストラクトの言語区分 英語 (English)
ISSN 00218979
ID 199303245