資料詳細

マイクロマシニングによる地下弾性波検出のためのシリコン容量型加速度センサの製作(第二報)(西沢ほか, 1997)

項 目 内 容
論文題名 マイクロマシニングによる地下弾性波検出のためのシリコン容量型加速度センサの製作(第二報)
論文題名(英語) Development of Micro Capacitive Accelerometer for Subsurface Microseismic Measurement (The second report)
資料名 物理探査学会学術講演会講演論文集
資料名(英語) Proceeding of the SEGJ Conference
著者 西沢 充智, 林 根培, 新妻 弘明, 江刺 正喜
著者(英語) NISHIZAWA Mitsutomo, LIM Geunbae, NIITSUMA Hiroaki, ESASHI Masayoshi
97
169-172
発行年 1997
発行者 物理探査学会
発行者(英語) The Society of Exploration Geophysicists of Japan
論文の言語区分 日本語 (Japanese)
アブストラクトの言語区分 英語 (English)
ID 199705923