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マイクロマシニングによる地下弾性波検出のためのシリコン容量型加速度センサの製作(西沢ほか, 1997)

項 目 内 容
論文題名 マイクロマシニングによる地下弾性波検出のためのシリコン容量型加速度センサの製作
論文題名(英語) Development of Micro Capacitive Accelerometer for Subsurface Microseismic Measurement
資料名 物理探査学会学術講演会講演論文集
資料名(英語) Proceeding of the SEGJ Conference
著者 西沢 充智, 新妻 弘明, 江刺 正喜
著者(英語) NISHIZAWA Mitsutomo, NIITSUMA Hiroaki, ESASHI Masayoshi
96
35-38
発行年 1997
発行者 物理探査学会
発行者(英語) The Society of Exploration Geophysicists of Japan
論文の言語区分 日本語 (Japanese)
アブストラクトの言語区分 英語 (English)
ID 199705924