資料詳細
| 項 目 | 内 容 |
|---|---|
| 論文題名(英語) | FIB/HVEM observation of the configuration of cracks and the defect structure near the cracks in Si |
| 資料名(英語) | Journal of Electron Microscopy |
| 著者(英語) | SAKA H., ABE S. |
| 巻 | 46 |
| 号 | 1 |
| 頁 | 45-57 |
| 発行年 | 1997 |
| 発行者(英語) | Japanese Society of Electron Microscopy |
| 論文の言語区分 | 英語 (English) |
| アブストラクトの言語区分 | 英語 (English) |
| ISSN | 00220744 |
| ID | 199707020 |