資料詳細
| 項 目 | 内 容 |
|---|---|
| 論文題名 | 二次イオン質量分析法による拡散係数の測定（その2）イオン注入炭素.ボロンのSi中の拡散（演旨） |
| 論文題名(英語) | Measurement of light elements in silicon using by secondary ion mass spectrometry 2: Diffusion of carbon and boron implanted into silicon (abs.) |
| 資料名 | 地球惑星科学関連学会合同大会予稿集 |
| 資料名(英語) | Abstracts, Japan Earth and Planetary Science Joint Meeting |
| 著者 | 湯谷 美奈, 比屋根 肇, 杉浦 直治, 浜野 洋三 |
| 著者(英語) | YUTANI M, HIYAGON H., SUGIURA N., HAMANO Y. |
| 巻 | 1997 |
| 頁 | 796-796 |
| 発行年 | 1997 |
| 発行者 | 日本地震学会, 日本火山学会, 日本測地学会, 日本地球化学会, 日本惑星科学会 |
| 発行者(英語) | Seismological Society of Japan, Volcanological Society of Japan, Geodetic Society of Japan, Geochemical Society of Japan, Japanese Society for Planetary Sciences |
| 論文の言語区分 | 日本語 (Japanese) |
| ID | 199710378 |