資料詳細
| 項 目 | 内 容 |
|---|---|
| 論文題名 | マイクロマシニングによるシリコン容量型加速度センサの製作とその特性 |
| 論文題名(英語) | Characteristics of Silicon Capacitive Accelerometer Developed by Micromachining Technique |
| 資料名 | 物理探査学会学術講演会講演論文集 |
| 資料名(英語) | Proceedings of the SEGJ Conference |
| 著者 | 西沢 充智, 林 根培, 新妻 弘明, 江刺 正喜 |
| 著者(英語) | NISHIZAWA Mitsutomo, LIM Geunbae, NIITSUMA Hiroaki, ESASHI Masayoshi |
| 巻 | 98 |
| 頁 | 101-105 |
| 発行年 | 1998 |
| 発行者 | 物理探査学会 |
| 発行者(英語) | The Society of Exploration Geophysicists of Japan |
| 論文の言語区分 | 日本語 (Japanese) |
| アブストラクトの言語区分 | 英語 (English) |
| ID | 199806813 |