資料詳細
| 項 目 | 内 容 |
|---|---|
| 論文題名 | 低圧誘導結合型プラズマを用いたダイヤモンド合成と炭素原子の振る舞い |
| 論文題名(英語) | Diamond Deposition and Behavior of Atomic Carbon Species in a Low-Pressure Inductively Coupled Plasma |
| 資料名 | 名古屋市工業研究所研究報告 |
| 資料名(英語) | Research Reports of the Nagoya Municipal Industrial Research Institute |
| 著者 | 伊藤 治彦, 提井 君元, 石川 聖之, 伊藤 昌文, 堀 勝, 竹尾 隆, 加藤 輝政, 後藤 俊夫 |
| 著者(英語) | ITO Haruhiko, TEII Kungen, ISHIKAWA Masayuki, ITO Masafumi, HORI Masaru, TAKEO Takashi, KATO Terumasa, GOTO Toshio |
| 号 | 84 |
| 頁 | 39-39 |
| 発行年 | 1999 |
| 発行者 | 名古屋市工業研究所 |
| 発行者(英語) | Nagoya Municipal Industrial Research Institute |
| 論文の言語区分 | 日本語 (Japanese) |
| ISSN | 03693333 |
| ID | 200000871 |