資料詳細
| 項 目 | 内 容 |
|---|---|
| 論文題名 | 白金触媒を用いる高性能極薄SiO2/Si構造 |
| 論文題名(英語) | High Quality Ultra-Thin SiO2/Si Structure Formed by Use of Platinum Catalyst |
| 資料名 | 学術月報 |
| 資料名(英語) | Japanese Scientific Monthly |
| 著者 | 小林 光 |
| 著者(英語) | KOBAYASHI H. |
| 巻 | 53 |
| 号 | 12 |
| 頁 | 1302-1305 |
| 発行年 | 2000 |
| 発行者 | 日本学術振興会 |
| 発行者(英語) | Japan Society for the Promotion of Science |
| 論文の言語区分 | 日本語 (Japanese) |
| ISSN | 3872440 |
| ID | 200101424 |