資料詳細
| 項 目 | 内 容 |
|---|---|
| 論文題名 | 大気開放静電容量型マイクロ加速度センタの製作とその特性評価 |
| 論文題名(英語) | Evaluation of an Open-air Silicon Capacitive Micro Accelerometer |
| 資料名 | 物理探査学会学術講演会講演論文集 |
| 資料名(英語) | Proceedings of the SEGJ Conference |
| 著者 | 阿曽 秀明, 西沢 充智, 新妻 弘明 |
| 著者(英語) | ASO Hideaki, NISHIZAWA Mitsutomo, NIITSUMA Hiroaki |
| 巻 | 106 |
| 頁 | 101-104 |
| 発行年 | 2002 |
| 発行者 | 物理探査学会 |
| 発行者(英語) | The Society of Exploration Geophysicists of Japan |
| 論文の言語区分 | 日本語 (Japanese) |
| アブストラクトの言語区分 | 英語 (English) |
| ID | 200205442 |