資料詳細
| 項 目 | 内 容 |
|---|---|
| 論文題名 | SORによるMEデバイスの製造と評価--微細パターン転写と薄膜構造解析--（演旨） |
| 資料名 | 日本鉱物学会年会講演要旨集 |
| 資料名(英語) | Annual Meeting Abstracts, Mineralogical Society of Japan |
| 著者 | 中野 朝雄 |
| 巻 | 1984 |
| 頁 | 38-39 |
| 発行年 | 1984 |
| 発行者 | 日本鉱物学会 |
| 発行者(英語) | Mineralogical Society of Japan |
| 論文の言語区分 | 日本語 (Japanese) |
| ID | 200316904 |