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ダイヤモンドペースト研磨処理基板(a-SiC/Si)を用いたダイヤモンドの成長(阿部ほか, 2007)

項 目 内 容
論文題名 ダイヤモンドペースト研磨処理基板(a-SiC/Si)を用いたダイヤモンドの成長
論文題名(英語) Microcrystalline Diamond Deposition Using substrates (a-SiC/Si) Treated by Diamond-Paste polishing
資料名 東北工業大学紀要 1 理工学編
資料名(英語) Memoirs of the Tohoku Institute of Technology, Ser.1: Science and Engineering
著者 阿部 俊三, 工藤 啓太, 明日 源太, 半田 浩之, 大羽 克彦, 末光 真希, 佐藤 徳芳
著者(英語) ABE Toshimi, KUDO Keita, NUKUHI Genta, HANDA Hiroyuki, OHBA Katsuhiko, SUEMITSU Maki, SATO Noriyoshi
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11-15
発行年 2007
発行者 東北工業大学
発行者(英語) Tohoku Institute of Technology
論文の言語区分 日本語 (Japanese)
アブストラクトの言語区分 英語 (English)
ISSN 2853817
ID 200722648