資料詳細
| 項 目 | 内 容 |
|---|---|
| 論文題名 | 気相分解／誘導結合プラズマ質量分析法を用いたシリコンウェハー表面金属分析による超純水水質評価 |
| 論文題名(英語) | Evaluation of the Cleanliness of Ultrapure Water by the Analysis for Metal Concentration Depositted on Si Wafer Surface Using Vapor Phase Decomposition/Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry |
| 資料名 | 分析化学 |
| 資料名(英語) | Bunseki Kagaku |
| 著者 | 加藤 俊正, 星 重行, 野口 俊彦, 中馬 高明 |
| 著者(英語) | KATO Toshimasa, HOSHI Shigeyuki, NOGUCHI Toshihiko, CHUUMAN Takaaki |
| 巻 | 59 |
| 号 | 7 |
| 頁 | 559-563 |
| 発行年 | 2010 |
| 発行者 | 日本分析化学会 |
| 発行者(英語) | Japan Society for Analytical Chemistry |
| 論文の言語区分 | 日本語 (Japanese) |
| アブストラクトの言語区分 | 英語 (English) |
| ISSN | 05251931 |
| DOI | 10.2116/bunsekikagaku.59.559 |
| ID | 201021768 |