資料詳細

壊れやすい試料に対応した薄片作製技術--水を使わない「乾式研磨法」の開発と展望--（大和田ほか, 2012）

項 目 内 容
論文題名 壊れやすい試料に対応した薄片作製技術--水を使わない「乾式研磨法」の開発と展望--
資料名 産総研Today
著者 大和田 朗, 佐藤 卓見, 平林 恵理
巻 12
号 9
頁 21-21
発行年 2012
発行者 産業技術総合研究所
論文の言語区分 日本語 (Japanese)
ISSN 18800041
ID 201210240