資料詳細
| 項 目 | 内 容 |
|---|---|
| 論文題名 | 3種類のターゲットによって化学組成を制御した非晶質ケイ酸塩の成膜実験(ポスターセッション)(演旨) |
| 論文題名(英語) | Fabrication of amorphous silicate films with various chemical compositions by RF sputtering method with three kinds of targets (poster session)(abs.) |
| 資料名 | 日本鉱物科学会年会講演要旨集 |
| 資料名(英語) | Abstracts with Program, Annual Meeting of Japan Association of Mineralogical Sciences |
| 著者 | 高山 亜紀子, 土山 明, 米田 明 |
| 著者(英語) | TAKAYAMA Akiko, TSUCHIYAMA Akira, YONEDA Akira |
| 巻 | 2016 |
| 頁 | 165-165 |
| 発行年 | 2016 |
| 発行者 | 日本鉱物科学会 |
| 発行者(英語) | Japan Association of Mineralogical Sciences |
| 論文の言語区分 | 日本語 (Japanese) |
| ISSN | 13486543 |
| DOI | 10.14824/jakoka.2016.0_160 |
| ID | 201651601 |